可调式膜厚监控光电信号转换装置
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)
摘要
本实用新型是用于光学镀膜监控系统的一种可调式膜厚监控光电信号转换装置,是由光学镜箱和信号转换箱两部分构成,二者之间的结合部位通过紧固件连接,其中,光学镜箱位于膜厚光信号传输部件的光束出射端,其内设有可以轴向移动调节的聚焦透镜组件,信号转换箱内设置有光电信号转换电路板、用于支撑电路板的支座和支座压套。该装置通过调聚焦透镜的移动调节,可使膜厚光信号全部投射在传感接受面上,由此消除了膜厚信号损失和衰减。同时通过光电信号转换增益电路,可扩大对膜厚信号光谱带宽的适应范围,达到提高转换信号的精准性、稳定性及转换效率的有益效果。
基本信息
专利标题 :
可调式膜厚监控光电信号转换装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720089363.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-02-01
授权号 :
CN201012935Y
授权日 :
2008-01-30
发明人 :
杨育兴党亚军赵升林张兰菊池和夫
申请人 :
河南中光学集团有限公司
申请人地址 :
473000河南省南阳市中州路254号河南中光学集团有限公司
代理机构 :
郑州联科专利事务所
代理人 :
张晓萍
优先权 :
CN200720089363.2
主分类号 :
C23C14/54
IPC分类号 :
C23C14/54 G05D5/03 G02B26/02
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/54
镀覆工艺的控制或调节
法律状态
2009-03-04 :
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)
放弃生效日 : 20070201
2008-01-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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