本实用新型公开的超精工序支承夹具包括由支承头和支承座构成的外径支承夹具和内径支承夹具，支承头采用陶瓷材料制作，在内径支承夹具的支承座呈三点均布式设置；与外径支承夹具的支承座通过连接体连接。由于支承头采用陶瓷材料制作，较好的解决了支承印和划伤的问题。且与连接体为粘结连接，由此形成了模块化互换形式，简洁经济。由于外径支承夹具增加了调心功能，因此改善了超精沟道的部分几何精度。由于内径支承的支承点采用三点均布式并设有圆弧凹槽，因此使工件内径表面受力相对现有两点式减小且均匀，避免对支承体产生摩擦。不但减轻了支承的重量，而且可以存蓄及疏导超精油，润滑支承与内径接触面，减小摩擦力并使冷却效果更好。