精密摇摆定位平台
专利权的终止
摘要
本实用新型提供了一种精密摇摆定位平台，解决了手动摇摆定位平台稳定性差，负载能力小和定位精确度低的问题。包括致动器(1)、上板(6)、中架(3)、下板(2)，致动器(1)与小滑块(5)固定连接，下板(2)上固定设置有交叉滚子导轨，其上设置有楔形块(4)，其上设置有小滑块(5)，并与中架(3)通过长轴(8)铰接在一起，使中架(3)能绕长轴(8)在X向自由旋转，在下板(2)上固定设置有小轴座(10)，通过小轴(12)与中架(3)铰接，使中架(3)能绕小轴(12)旋转，实现了平台在X轴向的摇摆定位，在上板上也设置同样的机构，实现了平台在Y轴向的摇摆定位。本摇摆定位平台的所有接触为面接触稳定性好结构紧凑。
基本信息
专利标题 ：
精密摇摆定位平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200720100568.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2007-02-03
授权号 ：
CN201007988Y
授权日 ：
2008-01-16
发明人 ：
王晓奎扬凯骏刘瑞霞霍灼琴
申请人 ：
中国电子科技集团公司第二研究所
申请人地址 ：
030024山西省太原市和平南路115号
代理机构 ：
太原市科瑞达专利代理有限公司
代理人 ：
刘宝贤
优先权 ：
CN200720100568.6
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2011-04-20 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101063890374
IPC(主分类) : H01L 21/68
专利号 : ZL2007201005686
申请日 : 20070203
授权公告日 : 20080116
终止日期 : 20100203
号牌文件序号 : 101063890374
IPC(主分类) : H01L 21/68
专利号 : ZL2007201005686
申请日 : 20070203
授权公告日 : 20080116
终止日期 : 20100203
2008-01-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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