可倒式补偿挡板机构

专利权的终止

摘要

现有真空镀膜设备中的补偿挡板机构存在补偿挡板位置固定，进而导致了薄膜均匀性降低，本实用新型提供了一种易于调节补偿挡板位置的可倒式补偿挡板机构。本实用新型包括设置于真空室内的补偿挡板、定位体，补偿挡板直接或间接连接于定位体的一端，所述定位体的另一端直接或间接活动连接于真空室壁。采用本实用新型，可以使补偿挡板能够有很大的活动范围，并可以根据镀膜工艺的需要在真空室外调整定位体的位置，提高了补偿效果和生产效率。

基本信息

专利标题：

可倒式补偿挡板机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720103803.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-03-16

授权号：

CN201010689Y

授权日：

2008-01-23

发明人：

刘洁雅

申请人：

北京北仪创新真空技术有限责任公司

申请人地址：

102600北京市大兴区大兴工业开发区前高米店盛坊路仪器仪表基地

代理机构：

北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司

代理人：

张涛

优先权：

CN200720103803.5

主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/24 C23C14/56 G02B1/10

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C14/00

通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆

C23C14/22

以镀覆工艺为特征的

C23C14/24

真空蒸发

法律状态

2017-05-03 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101717203459
IPC(主分类) : C23C 14/24
专利号 : ZL2007201038035
申请日 : 20070316
授权公告日 : 20080123
终止日期 : 20160316

2012-07-25 ：

专利权质押合同登记的生效、变更及注销

专利权质押合同登记的注销号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101411526809
授权公告日 : 20080123
申请日 : 20070316
IPC(主分类) : C23C 14/24
专利号 : ZL2007201038035
登记号 : 2011990000033
出质人 : 北京北仪创新真空技术有限责任公司
质权人 : 交通银行股份有限公司北京经济技术开发区支行
解除日 : 20120531

2011-03-23 ：

专利权质押合同登记的生效、变更及注销

专利权质押合同登记的生效号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101077681795
IPC(主分类) : C23C 14/24
专利号 : ZL2007201038035
登记号 : 2011990000033
登记生效日 : 20110130
出质人 : 北京北仪创新真空技术有限责任公司
质权人 : 交通银行股份有限公司北京经济技术开发区支行
实用新型名称 : 可倒式补偿挡板机构
申请日 : 20070316
授权公告日 : 20080123

2008-01-23 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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