本实用新型公开了一种半导体制冷温控型超磁致伸缩微位移驱动器。通过电流来控制输出位移的执行装置，通过线圈骨架两端的半导体制冷器实施温控，并用冷却水循环装置为半导体制冷器热端进行散热，实现抑制执行器温升和热变形误差输出，提高输出位移控制精度。本实用新型驱动器结构简单，驱动电流较小，工作稳定，频响特性好；采用半导体制冷温控技术，制冷迅速且能实施长时间温控，电气回路结构简单，性能温定并能及时相应执行器内部温度的变化，能有效抑制热误差输出，位移输出控制精度可达到亚微米级甚至更高。同时具有体积小、重量轻、输出力大、位移精度高，能抑制热变形对执行器输出位移的影响，可用于超精密加工、振动控制等领域。