本实用新型属于二氧化硅生产技术领域，特别是涉及一种二氧化硅生产装置，其特征在于包括依次相连的蒸发器、气体混合器、水解反应器、合成器、旋风分离器、送料管、脱酸器、分级机和包装机，所述蒸发器的蒸发管内壁上复合有不锈钢丝网，所述脱酸器由筒体和微波发生器构成，微波发生器设置在筒体的外侧；其结构设计合理、能耗低、质量稳定，由于脱酸器采用筒体和微波发生器结合的结构、蒸发器采用降膜蒸发器，且在所述蒸发器的蒸发管内壁上复合有不锈钢丝网的结构；使得蒸发器的传热面积得到了显著提高，为四氯化硅液体迅速气化成为气体创造了条件；而采用微波发生器对二氧化硅颗粒脱酸加热均匀快速，效率高。