真空设备的排气管道
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种真空设备的排气管道,包括两路管道,一路是由干泵、第一真空计、粗抽阀组成的粗抽排气管道,另一路是由干泵、第一真空计、气动阀、分子泵、遮断阀组成的细抽排气管道;其中在气动阀与第一真空计之间设置有第二真空计和由两路并联管道组成的排气系统,每路并联排气管道上各设置有两个阀门;除每路并联排气管道上的两个阀门之间的管道之外,其它管道外均设置有加热带。本实用新型应用于真空设备的排气系统中,可以降低清洗工作量,并且在解决故障、清洗管道时无需将生产设备停止下来,因而可实现不停机清洗管道,提高设备的使用效率,降低设备的故障率,提高设备的生产能力。
基本信息
专利标题 :
真空设备的排气管道
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720144237.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-10-16
授权号 :
CN201096251Y
授权日 :
2008-08-06
发明人 :
李顺义王健
申请人 :
上海华虹NEC电子有限公司
申请人地址 :
201206上海市浦东新区川桥路1188号
代理机构 :
上海浦一知识产权代理有限公司
代理人 :
王关根
优先权 :
CN200720144237.2
主分类号 :
F16L55/07
IPC分类号 :
F16L55/07
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16L
管子;管接头或管件;管子、电缆或护管的支撑;一般的绝热方法
F16L
管子;管接头或管件;管子、电缆或护管的支撑;一般的绝热方法
F16L55/00
在管子或管系中使用的及与管子或管系有关的设备及备件
F16L55/07
通风、充气或排水装置的配置和安装,如阀的
法律状态
2016-11-30 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101690196363
IPC(主分类) : F16L 55/07
专利号 : ZL2007201442372
申请日 : 20071016
授权公告日 : 20080806
终止日期 : 20151016
号牌文件序号 : 101690196363
IPC(主分类) : F16L 55/07
专利号 : ZL2007201442372
申请日 : 20071016
授权公告日 : 20080806
终止日期 : 20151016
2014-02-12 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101690507370
IPC(主分类) : F16L 55/07
专利号 : ZL2007201442372
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 上海华虹NEC电子有限公司
变更后权利人 : 上海华虹宏力半导体制造有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201206 上海市浦东新区川桥路1188号
变更后权利人 : 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
登记生效日 : 20140113
号牌文件序号 : 101690507370
IPC(主分类) : F16L 55/07
专利号 : ZL2007201442372
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 上海华虹NEC电子有限公司
变更后权利人 : 上海华虹宏力半导体制造有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201206 上海市浦东新区川桥路1188号
变更后权利人 : 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
登记生效日 : 20140113
2008-08-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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