多分级芯片拣选装置
专利权的终止
摘要

本实用新型为一种多分级芯片拣选装置,包括:一第一载台驱动部、一第二载台驱动部以及一芯片取放头。所述的第一载台驱动部可驱动一第一载台在所述的第一载台驱动部上进行一第一轴向的线性位移运动,所述的第一载台提供承载至少一第一料盘。所述的第二载台驱动部可驱动一第二载台在所述的第二载台驱动部上进行一第一轴向以及一第二轴向的线性位移运动且可承载复数个第二料盘,每一个第二料盘分别对应至不同的芯片等级。所述的芯片取放头可在一晶圆上取一芯片并根据所述的芯片等级而选择放置在所述的第一料盘或者所述的第二料盘上。本实用新型提出的同时分级的芯片拣选方式,可让芯片依序拣出而不需重复循环,不但提高检选的正确性,还可有效提升产能。

基本信息
专利标题 :
多分级芯片拣选装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720148282.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-05-15
授权号 :
CN201087902Y
授权日 :
2008-07-16
发明人 :
石敦智黄良印杨育峰
申请人 :
均豪精密工业股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾
代理机构 :
北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司
代理人 :
孙皓晨
优先权 :
CN200720148282.5
主分类号 :
H01L21/00
IPC分类号 :
H01L21/00  H01L21/677  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2017-06-23 :
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101729013784
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2007201482825
申请日 : 20070515
授权公告日 : 20080716
终止日期 : 无
2008-07-16 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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