可变轨迹的传送轨道及太阳能集热管连续溅射镀膜机
专利权的终止
摘要

本实用新型涉及一种可变轨迹的传送轨道及太阳能集热管连续溅射镀膜机,所述可变轨迹的传送轨道具有至少一组环形轨道,每一组环形轨道均具有至少两个外接轨道,一旋转道岔可转动地设置在所述环形轨道和外接轨道的交界处。所述镀膜机具有:多个圆柱形真空室串联设置,每两个真空室之间用真空通道连接,并设有真空锁;所述镀膜机内设有可变轨迹的传送轨道,设置在真空室外部的外传送轨道的两端分别与可变轨迹的传送轨道的外接轨道相连接。本实用新型的传送轨道结构简单,动作灵活,能够有效地节省设备的占地面积。所述镀膜机能使工件车由一个真空室顺利移到下一个真空室,且可以使工件车环绕靶进行连续溅射镀膜,减少了设备长度,提高了作业效率。

基本信息
专利标题 :
可变轨迹的传送轨道及太阳能集热管连续溅射镀膜机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720169611.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-07-09
授权号 :
CN201148461Y
授权日 :
2008-11-12
发明人 :
吕振华李云松李云辉秦克强殷志强
申请人 :
吕振华;李云松;殷志强;李云程
申请人地址 :
100034北京市西城区大茶叶胡同30号
代理机构 :
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 :
董惠石
优先权 :
CN200720169611.4
主分类号 :
C23C14/34
IPC分类号 :
C23C14/34  C23C14/56  C23C14/54  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2010-09-22 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101005915881
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利号 : ZL2007201696114
申请日 : 20070709
授权公告日 : 20081112
2010-01-06 :
专利实施许可合同的备案
合同备案号 : 2009430000118
让与人 : 吕振华|李云松|李云程|殷志强
受让人 : 衡阳市真空机电设备有限公司
发明名称 : 可变轨迹的传送轨道及太阳能集热管连续溅射镀膜机
申请日 : 20070709
授权公告日 : 20081112
许可种类 : 独占许可
备案日期 : 20091022
合同履行期限 : 2008.12.8至2017.7.9合同变更
2008-11-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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