一种新型的修布砂轮装置

专利权的终止

摘要

一种新型的修布砂轮装置，它包括：抛光陶瓷板，安装在陶瓷板上的多个砂轮，所述的砂轮的位置按硅片贴在陶瓷板上的位置布置。本实用新型的优点：砂轮在抛光盘上的运行轨迹完全模拟硅片的运行轨迹，砂轮在抛光布上的运行轨迹与硅片的运行轨迹完全重合。本实用新型不仅适用于贴布初的修整，还适用于布使用中途的修整，此装置操作方便，修整作用强，能够适应现代硅片平整度的要求。

基本信息

专利标题：

一种新型的修布砂轮装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720173484.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-09-29

授权号：

CN201211643Y

授权日：

2009-03-25

发明人：

万关良王继

申请人：

北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司

申请人地址：

100088北京市新街口外大街2号

代理机构：

北京北新智诚知识产权代理有限公司

代理人：

郭佩兰

优先权：

CN200720173484.5

主分类号：

B24B53/14

IPC分类号：

B24B53/14 B24B29/00 H01L21/304

IPC结构图谱

B部——作业；运输

B24

磨削；抛光

B24B

用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给

B24B53/00

用于修整或调节研磨表面的装置或工具、

B24B53/12

修整工具；其夹持装置

B24B53/14

装有旋转滚轮或切刀的修整工具；其夹持装置

法律状态

2017-10-31 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : B24B 53/14
申请日 : 20070929
授权公告日 : 20090325

2015-07-01 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101717144629
IPC(主分类) : B24B 53/14
专利号 : ZL2007201734845
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 有研新材料股份有限公司
变更后权利人 : 有研半导体材料有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更后权利人 : 101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧
登记生效日 : 20150611

2014-06-25 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101702236733
IPC(主分类) : B24B 53/14
专利号 : ZL2007201734845
变更事项 : 专利权人
变更前 : 有研半导体材料股份有限公司
变更后 : 有研新材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更后 : 100088 北京市新街口外大街2号

2012-02-29 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101289928981
IPC(主分类) : B24B 53/14
专利号 : ZL2007201734845
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 北京有色金属研究总院
变更后权利人 : 有研半导体材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更后权利人 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 有研半导体材料股份有限公司
变更后权利人 : 无
登记生效日 : 20120113

2009-03-25 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

CN201211643Y.PDF

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