自动显定影机
专利权的终止
摘要

本实用新型是一种自动显定影机,其机台上有前、后料篮及一废料槽;转载装置至少包括一可将晶圆自机台前料篮取出经过定位装置、加工区喷洒显定影剂后置入后料篮的机械臂;定位装置至少包括一设置在加工区内以挟持于晶圆侧边的定位器、以及一设置在定位器下方以吸附固定晶圆的负压吸盘;加工区具有若干隔板、至少一关闭时可使晶圆被隔离在加工区内喷洒显定影剂的闸门、以及一组对加工区内晶圆喷洒显定影剂的喷头;回风装置设置在加工区下方连接抽气马达,至少包括有一框设在吸盘周围下方的风罩、以及一连接风罩的导流风管,废料槽设于导流风管下方以盛接液态显定影剂。可提高晶圆的产制良好率及产制速度,并降低显定影剂对操作人员的接触机会。

基本信息
专利标题 :
自动显定影机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720195356.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-11-13
授权号 :
CN201130296Y
授权日 :
2008-10-08
发明人 :
钟盛钦
申请人 :
长禔工业股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾台北县
代理机构 :
北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司
代理人 :
孙皓晨
优先权 :
CN200720195356.0
主分类号 :
G03F7/26
IPC分类号 :
G03F7/26  G03F7/30  H01L21/67  H01L21/68  H01L21/027  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
法律状态
2014-01-08 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101559929145
IPC(主分类) : G03F 7/26
专利号 : ZL2007201953560
申请日 : 20071113
授权公告日 : 20081008
终止日期 : 20121113
2008-10-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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