一种微电子气源柜吹扫系统
专利权的终止
摘要
一种微电子气源柜吹扫系统，主要由供气管路系统和吹扫管路系统组成，其中供气管路系统用于工艺气体的供给，吹扫管路系统用于整个管路残留气体的吹扫，为不同工艺气的置换提供前提。吹扫系统的供气管路系统端部与吹扫管路系统相连通，同时吹扫管路系统为低压气体输送管路与高压气体输送管路并联组成，并通过同一高压三通截止阀与吹扫气供应口相连接。供气管路系统和吹扫管路系统各连接排气管路。该吹扫系统主要用于高纯或超高纯气体或半导体制造业特种气体的配制、置换和输送。
基本信息
专利标题 ：
一种微电子气源柜吹扫系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820011858.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-03-25
授权号 ：
CN201282131Y
授权日 ：
2009-07-29
发明人 ：
王军韩一兵孙艳
申请人 ：
大连八方经济技术有限公司
申请人地址 ：
116021辽宁省大连市解放广场迎春街4号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN200820011858.8
主分类号 ：
H01L21/00
IPC分类号 ：
H01L21/00 F17D1/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2013-05-15 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101457537068
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008200118588
申请日 : 20080325
授权公告日 : 20090729
终止日期 : 20120325
号牌文件序号 : 101457537068
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008200118588
申请日 : 20080325
授权公告日 : 20090729
终止日期 : 20120325
2009-07-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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