一种小抽速无油涡旋真空泵
专利权的终止
摘要

本实用新型涉及真空泵技术领域,是一种小抽速无油涡旋真空泵,具有结构紧凑,体积小,极限压力低等特点,抽速为4L/s。本实用新型所述的转子涡旋盘为三点定位结构,依靠均布的三个曲柄轴部件使转子涡旋盘绕定子涡旋盘沿固定圆轨迹平动,完成抽气过程。所述的涡旋盘表面经硬质氧化处理并喷涂特氟隆。所述的密封垫片采用特氟隆材料。本实用新型是干式真空泵的一种,清洁度高,适用于半导体、科学仪器、精细化工、医疗等行业。

基本信息
专利标题 :
一种小抽速无油涡旋真空泵
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820015299.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-08-29
授权号 :
CN201250774Y
授权日 :
2009-06-03
发明人 :
王光玉张振厚孔祥玲刘在行
申请人 :
中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
申请人地址 :
110168辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号
代理机构 :
沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人 :
周秀梅
优先权 :
CN200820015299.8
主分类号 :
F04C18/02
IPC分类号 :
F04C18/02  F04C27/00  F04C29/00  
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F04
液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵
F04C
旋转活塞或摆动活塞的液体变容式机械
F04C
旋转活塞或摆动活塞的液体变容式机械
F04C18/00
专门适用于弹性流体的旋转活塞式泵
F04C18/02
弧形啮合式的,即各配合元件具有圆弧形传送运动,每一元件都具有相同数量的齿或齿的等同物
法律状态
2015-10-28 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101631614073
IPC(主分类) : F04C 18/02
专利号 : ZL2008200152998
申请日 : 20080829
授权公告日 : 20090603
终止日期 : 20140829
2012-04-04 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101318123141
IPC(主分类) : F04C 18/02
专利号 : ZL2008200152998
变更事项 : 专利权人
变更前 : 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
变更后 : 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号
变更后 : 110197 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号
2009-06-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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