本实用新型提供的真空高压气淬炉微充气装置，涉及一种热处理设备的零部件，尤其是一种真空高压气淬炉用微充气装置。它包括惰性气体管路、惰性气体储气罐和斜座阀，斜座阀设置在真空高压气淬炉上，惰性气体管路联接于惰性气体储气罐和斜座阀之间，其特征在于：它还包括惰性气体流量计，惰性气体流量计串联在惰性气体管路中。本实用新型能实时观察调控惰性气体流量，确保精准充气，有效提高了真空高压气淬炉的淬火质量。