带有多晶硅场板的功率MOS场效应管
专利权的终止
摘要
一种带有多晶硅场板的功率MOS场效应管,其特征在于对MOS场效应管有源区外围的终端保护结构进行了以下几方面改进:1.将单胞阵列的边缘单胞外围的P-阱直接作为场限环;2.将场限环P-区、截止环P-区和单胞阵列的P-阱作为同一制造层,由P型掺杂同时形成;3.省去原来由场氧,将场板结构改由栅氧化硅层与多晶硅组成;4.将场板中的多晶硅作为P型杂质离子注入的阻挡层直接形成场限环P-区,截止环P-区及单胞的P-阱;5.在P型掺杂之后直接进行N型掺杂,使得场限环P-区、截止环P-区和单胞阵列的P-阱三者上部均带N+区。本实用新型节省了有源区光刻版,场限环光刻版及源区注入三层光刻板,在保证产品性能的前提下,减少了光刻次数,大大降低制造成本,可适用于大批量低成本制造功率MOS场效应管。
基本信息
专利标题 :
带有多晶硅场板的功率MOS场效应管
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820033232.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-03-18
授权号 :
CN201163629Y
授权日 :
2008-12-10
发明人 :
朱袁正张鲁
申请人 :
苏州硅能半导体科技股份有限公司
申请人地址 :
215021江苏省苏州市苏州工业园区机场路328号国际科技园C301单元
代理机构 :
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 :
马明渡
优先权 :
CN200820033232.7
主分类号 :
H01L27/088
IPC分类号 :
H01L27/088
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27/00
由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27/02
包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27/04
其衬底为半导体的
H01L27/08
只包括有一种半导体组件的
H01L27/085
只包含场效应的组件
H01L27/088
有绝缘栅场效应晶体管的组件
法律状态
2018-04-10 :
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : H01L 27/088
申请日 : 20080318
授权公告日 : 20081210
申请日 : 20080318
授权公告日 : 20081210
2008-12-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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