光掩模清洗机的液体分配盘
专利权的终止
摘要

本实用新型涉及一种光掩模清洗机的液体分配盘,属于光掩模清洗机技术领域。主要包括盘体、贯穿盘体的安装孔以及设置在盘体内两个独立的第一液体流道和第二液体流道,所述的第一液体流道由第一环形道和与第一环形道相通的进液流道及出液流道构成,六个以上的出液流道沿盘体径向分布,且该出液流道的流道出口位于盘体径向的外周面;所述的第二液体流道由第二环形道和与第二环形道相通的进液流道及出液流道构成,三个以上的出液流道沿盘体轴向分布,该出液流道的流道出口位于盘体的上端面。本实用新型具有结构紧凑、体积小的特点,有效减少光掩模清洗机处理舱的体积。

基本信息
专利标题 :
光掩模清洗机的液体分配盘
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820034063.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-04-14
授权号 :
CN201175710Y
授权日 :
2009-01-07
发明人 :
徐飞金海涛
申请人 :
徐飞
申请人地址 :
213022江苏省常州市新北区汉江路376号
代理机构 :
常州市维益专利事务所
代理人 :
贾海芬
优先权 :
CN200820034063.9
主分类号 :
B08B3/02
IPC分类号 :
B08B3/02  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2018-05-08 :
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : B08B 3/02
申请日 : 20080414
授权公告日 : 20090107
2017-06-06 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101752630768
IPC(主分类) : B08B 3/02
专利号 : ZL2008200340639
变更事项 : 专利权人
变更前 : 常州瑞科微电子科技有限公司
变更后 : 常州瑞科微电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 213022 江苏省常州市新北区长江中路25号3-318室
变更后 : 213022 江苏省常州市新北区长江北路25号三号楼一楼西
2011-02-16 :
专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
专利实施许可合同备案的生效号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101066880142
IPC(主分类) : G03F 1/00
专利申请号 : 2008200340639
专利号 : ZL2008200340639
合同备案号 : 2010320000549
让与人 : 常州瑞科微电子科技有限公司
受让人 : 常州瑞择微电子科技有限公司
实用新型名称 : 光掩模清洗机的液体分配盘
申请日 : 20080414
授权公告日 : 20090107
许可种类 : 独占许可
备案日期 : 20100507
2009-05-20 :
专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 徐飞
变更后权利人 : 常州瑞科微电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 江苏省常州市新北区汉江路376号,邮编 : 213022
变更后 : 江苏省常州市新北区长江中路25号3-318室,邮编 : 213022
登记生效日 : 20090410
2009-01-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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