本实用新型公开了一种浓缩气体发生系统，技术方案是：一种浓缩气体发生系统，包括依次连接的滤尘器、原料气体压缩泵、原料气体缓冲罐、原料气体缓冲罐另一侧连接有电控阀，电控阀的另一端连接浓缩气体发生器的入口，浓缩气体发生器的入口还连接有第二电控阀和消音器，浓缩气体发生器的出口并联有止回阀和流量调节阀组成的第一支路、由第二止回阀组成的第二支路，二条支路的另一端共同连接到浓缩气体储罐的入口上，浓缩气体储罐的出口上依次连接有调节阀、流量计、截止阀、过滤器、湿化杯；浓缩气体发生器的入口的两电控阀和消音器可有二位三通阀代替。本实用新型能提高被浓缩气体的纯度。