气体反应室监测窗

专利权的终止

摘要

本实用新型揭露了一种气体反应室监测窗，其利用滑槽结构来限制保护盖板，而使得保护盖板仅可于滑槽所定义的平面内横向抽取，于是克服了先前技术中由于胶带逐渐失去粘性而使得保护盖板掉落甚至损坏的问题；同时保护盖板易于拆卸，方便了其清理。该监测窗包括：一窗体，具有相对的两个边沿且该边沿上分别形成有滑槽；一保护盖板，其相对的两边缘位于上述滑槽内。

基本信息

专利标题：

气体反应室监测窗

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820056565.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-03-25

授权号：

CN201188414Y

授权日：

2009-01-28

发明人：

顾琛刘亮

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市张江路18号

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

屈蘅

优先权：

CN200820056565.1

主分类号：

H01L21/00

IPC分类号：

H01L21/00 H01J37/02 H01J37/244 H01J37/32

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

法律状态

2018-04-17 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : H01L 21/00
申请日 : 20080325
授权公告日 : 20090128

2013-03-20 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101542194955
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008200565651
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130221

2009-01-28 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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