旋转组件

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种用于安装在清洗单片晶圆的清洗槽上的旋转组件，涉及晶圆的清洗装置。所述旋转组件具有数个辊子，所述辊子一端延伸入清洗槽用于承载晶圆，所述旋转组件还包括安装在所述辊子的另一端的数个承载齿轮以及与所述承载齿轮同时啮合的传动齿轮。本实用新型提供的旋转组件采用齿轮传动结构，使得晶圆转动更加平稳；另外，齿轮传动磨损较小，不会产生大量碎屑脱落，提高了清洗的洁净度；齿轮传动磨损小，不易损坏，间接地降低了生产成本。

基本信息

专利标题：

旋转组件

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820059232.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-05-30

授权号：

CN201220227Y

授权日：

2009-04-15

发明人：

王怀锋

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市张江路18号

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

屈蘅

优先权：

CN200820059232.4

主分类号：

B08B7/04

IPC分类号：

B08B7/04 B08B1/04 B08B13/00 H01L21/00

IPC结构图谱

B部——作业；运输

B08

清洁

B08B

一般清洁；一般污垢的防除

B08B7/00

不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法

B08B7/04

多种操作的结合

法律状态

2018-06-22 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : B08B 7/04
申请日 : 20080530
授权公告日 : 20090415

2013-03-20 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101538594671
IPC(主分类) : B08B 7/04
专利号 : ZL2008200592324
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130219

2009-04-15 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

CN201220227Y.PDF

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