腐蚀槽鼓泡装置及腐蚀槽

专利权的终止

摘要

本实用新型提供了一种鼓泡装置以及具有鼓泡装置的腐蚀槽。鼓泡装置为一板状物，其一侧设有至少一个进气口和至少一个出气口，其内部设有一连接所述出气口和进气口的通道。该装置可以搁置在腐蚀槽的底壁也可以为腐蚀槽槽体的一部分。出气口可以为均匀设置的多个细孔。本实用新型简单易行、成本低廉，可达到均匀腐蚀效果。

基本信息

专利标题：

腐蚀槽鼓泡装置及腐蚀槽

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820092369.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-03-03

授权号：

CN201162047Y

授权日：

2008-12-10

发明人：

王友旺

申请人：

深圳深爱半导体有限公司

申请人地址：

518029广东省深圳市福田区八卦三路光纤小区2栋3楼

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人：

郑小粤

优先权：

CN200820092369.X

主分类号：

C23F1/08

IPC分类号：

C23F1/08 C23F1/20 H01L21/3213

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23F

非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理

C23F1/00

金属材料的化学法蚀刻

C23F1/08

装置，如照相印刷制版装置

法律状态

2017-04-19 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101714602842
IPC(主分类) : C23F 1/08
专利号 : ZL200820092369X
申请日 : 20080303
授权公告日 : 20081210
终止日期 : 20160303

2011-12-28 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101249912688
IPC(主分类) : C23F 1/08
专利号 : ZL200820092369X
变更事项 : 专利权人
变更前 : 深圳深爱半导体有限公司
变更后 : 深圳深爱半导体股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 518029 广东省深圳市福田区八卦三路光纤小区2栋3楼
变更后 : 518118 广东省深圳市龙岗区宝龙工业城宝龙七路3号

2008-12-10 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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