酸槽温度控制系统
专利权的终止
摘要

本实用新型一种酸槽温度控制系统,包括耐腐蚀的反应槽,在反应槽上设有换热水管,该酸槽温度控制系统还包括由水侧换热器、冷凝器、节流器以及压缩机,水侧换热器的制冷剂侧、冷凝器、节流器以及压缩机通过连接管连接形成制冷剂循环通路;在水侧换热器的水侧连接有进水管、出水管;换热水管的两端为水管入口、水管出口,水管入口、水管出口分别与出水管、进水管连通。在反应过程中,酸液温度过高时,可开启压缩机,通过冷却水对酸液进行冷却,以减少酸液的挥发浪费,也避免高温的酸液对环境的污染。

基本信息
专利标题 :
酸槽温度控制系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820094251.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-05-30
授权号 :
CN201219103Y
授权日 :
2009-04-08
发明人 :
邹建和
申请人 :
深圳深爱半导体有限公司
申请人地址 :
518029广东省深圳市福田区八卦三路光纤小区2栋3楼
代理机构 :
广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人 :
郑小粤
优先权 :
CN200820094251.0
主分类号 :
H01L21/00
IPC分类号 :
H01L21/00  H01L21/306  C23F1/08  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2016-07-20 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101671086626
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008200942510
申请日 : 20080530
授权公告日 : 20090408
终止日期 : 20150530
2011-12-28 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101249912669
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008200942510
变更事项 : 专利权人
变更前 : 深圳深爱半导体有限公司
变更后 : 深圳深爱半导体股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 518029 广东省深圳市福田区八卦三路光纤小区2栋3楼
变更后 : 518118 广东省深圳市龙岗区宝龙工业城宝龙七路3号
2009-04-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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