水封防污染装置
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种用于硅材料的酸或碱处理设备中的水封防污染装置，它设置在硅的酸或碱处理设备内。该水封防污染装置包括：隔板和一个过渡槽，其内带有液体，隔板下部连接在过渡槽中间位置并延伸至液面以下，隔板及过渡槽均与设备内壁密闭连接，以便将设备的内部空间的左右两工作区的气流隔断，从而避免带有酸碱的气流对后处理工作区的污染。该装置结构简单、隔离效果好。
基本信息
专利标题 ：
水封防污染装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820094928.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-06-20
授权号 ：
CN201222488Y
授权日 ：
2009-04-15
发明人 ：
余仲黄进权
申请人 ：
深圳市捷佳创精密设备有限公司
申请人地址 ：
518000广东省深圳市宝安区沙井镇耗四林坡坑工业区A13栋
代理机构 ：
深圳市康弘知识产权代理有限公司
代理人 ：
胡朝阳
优先权 ：
CN200820094928.0
主分类号 ：
H01L21/00
IPC分类号 ：
H01L21/00 H01L21/306 C23F1/08 B08B17/00
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2018-07-13 ：
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : H01L 21/00
申请日 : 20080620
授权公告日 : 20090415
申请日 : 20080620
授权公告日 : 20090415
2012-01-18 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101268314450
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008200949280
变更事项 : 专利权人
变更前 : 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司
变更后 : 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 518000 深圳市宝安区沙井街道蚝四林坡坑工业区A4栋第一层
变更后 : 518000 广东省深圳市宝安区沙井街道蚝四林坡坑工业区A4号、A6号厂房
号牌文件序号 : 101268314450
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008200949280
变更事项 : 专利权人
变更前 : 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司
变更后 : 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 518000 深圳市宝安区沙井街道蚝四林坡坑工业区A4栋第一层
变更后 : 518000 广东省深圳市宝安区沙井街道蚝四林坡坑工业区A4号、A6号厂房
2011-05-04 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101085484007
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008200949280
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳市捷佳创精密设备有限公司
变更后权利人 : 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市宝安区沙井镇耗四林坡坑工业区A13栋
变更后权利人 : 518000 深圳市宝安区沙井街道蚝四林坡坑工业区A4栋第一层
登记生效日 : 20110329
号牌文件序号 : 101085484007
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008200949280
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳市捷佳创精密设备有限公司
变更后权利人 : 深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市宝安区沙井镇耗四林坡坑工业区A13栋
变更后权利人 : 518000 深圳市宝安区沙井街道蚝四林坡坑工业区A4栋第一层
登记生效日 : 20110329
2009-04-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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