一种尾气处理器

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及一种尾气处理器，特别是一种用于硅外延反应气体的尾气处理装置，属晶体硅制备尾气处理装置技术领域。其结构中包括：两个相互连通的密闭水箱，水箱顶部设置用于处理SiHCl₃的水幕和处理HCl的处理塔，水幕上开设进气口，处理塔上部连通负压管，水幕和处理塔分别连通循环水泵，负压管连通负压水泵，循环水泵和负压水泵的进水口分别连接水箱，其特征在于：在循环水泵的进水口设置一过滤器。该特征可防止固溶物进入泵体，减少循环水泵的磨损及堵塞现象的发生，延长其使用寿命，降低设备维修率，减少生产成本。

基本信息

专利标题：

一种尾气处理器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820105685.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-09-01

授权号：

CN201260933Y

授权日：

2009-06-24

发明人：

赵丽霞

申请人：

河北普兴电子科技股份有限公司

申请人地址：

050200河北省石家庄市鹿泉经济开发区昌盛大街21号

代理机构：

石家庄国为知识产权事务所

代理人：

米文智

优先权：

CN200820105685.6

主分类号：

B01D53/78

IPC分类号：

B01D53/78 B01D53/18 B01D53/68

IPC结构图谱

B部——作业；运输

B01

一般的物理或化学的方法或装置

B01D53/00

气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化

B01D53/34

废气的化学或生物净化

B01D53/74

净化废气的一般方法；为这类方法特别设计的设备或装置

B01D53/77

液相方法

B01D53/78

利用气—液接触

法律状态

2018-09-25 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : B01D 53/78
申请日 : 20080901
授权公告日 : 20090624

2009-06-24 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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