本实用新型涉及一种高效烟气脱硫脱硝除尘一体化工艺设备，包括供氧装置、化学反应器和除尘器等部分组成。由分子筛制氧机联接氧活化器，构成设备的供氧装置，供氧装置与化学反应器前端文氏管入口部位喉口收缩区喷嘴组成的喷淋层连接；化学反应器末端的直角型导流板连接除尘器；直管外部连接给料机。化学反应器包括文氏管、反应器底部的弯头、石灰分布板和直管；直管与弯头连接；文氏管和弯头组成反应器的氧化区，石灰分布板和直角型导流板之间的直管构成反应器的中和区。本实用新型为烟气脱硫脱硝除尘的全新工艺设备，效率高，投资少，运行费用低。