本实用新型一种与供气装置连接的充气设备，用以将气体导入半导体组件或光罩的存放装置中，该存放装置具有至少一入气部分；该充气设备包含：至少一承座，用以承载该存放装置；以及至少一入气端口装置，是设于该承座上且与该存放装置入气部分对应的位置，该入气端口装置包含有：一基座，具有一通孔贯穿该基座，供气体通过；一弹性件，设于该基座上且对应于与该入气部分接触处，用以保持气密性；以及一固定件，设于该基座上，用以固定该弹性件。