离轴抛物面镜点聚焦能力测定装置

专利权的终止

摘要

一种离轴抛物面镜点聚焦能力测定装置，其构成包括：一台He-Ne激光器，沿该He-Ne激光出射激光束方向依次设置扩束器、软边光阑和待测的离轴抛物面镜，在该离轴抛物面镜的反射光束方向依次设置标准叉丝和显微物镜，该显微物镜位于所述的离轴抛物面镜的焦点，所述的焦点成像于面阵CCD上，该面阵CCD的输出端接计算机，所述的离轴抛物面镜固定在一五维电动调整架上。本实用新型具有结构简单，调节方便、分辨率高的特点，不仅可以获得离轴抛物面镜焦斑大小尺寸，可以得到焦斑强度二维分布信息，而且可获得焦斑的三维图像信息。

基本信息

专利标题：

离轴抛物面镜点聚焦能力测定装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820150876.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-07-16

授权号：

CN201255688Y

授权日：

2009-06-10

发明人：

邹璞蔡懿王文涛夏长权刘丽李儒新刘建胜

申请人：

中国科学院上海光学精密机械研究所

申请人地址：

201800上海市800-211邮政信箱

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

张泽纯

优先权：

CN200820150876.4

主分类号：

G01M11/02

IPC分类号：

G01M11/02 G02B17/08