止回流反应阀
专利权的终止
摘要

本实用新型涉及一种止回流反应阀,包括阀管道、电磁阀、气缸、活塞以及通气挡板;其特征在于所述通气挡板安装在阀管道上,所述电磁阀连接气缸,活塞一端设置于气缸内,另一端对准通气挡板的通气孔。当真空设备异常,管道内可能发生气体回流时,电磁阀接收回流信号,然后往气缸充气,从而推动活塞迅速顶住通气挡板,堵塞通气孔,实现止回流反应阀的关闭。本实用新型结构简单,反应灵敏迅速,杜绝管道内的气体回流造成事故。

基本信息
专利标题 :
止回流反应阀
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820151991.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-08-15
授权号 :
CN201236994Y
授权日 :
2009-05-13
发明人 :
王刚崔安平狄宝山高文良
申请人 :
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址 :
201203上海市浦东新区张江路18号
代理机构 :
上海智信专利代理有限公司
代理人 :
王 洁
优先权 :
CN200820151991.3
主分类号 :
F16K17/36
IPC分类号 :
F16K17/36  F16K31/122  F16K51/02  F16K15/02  H01L21/00  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
F16K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
F16K17/00
安全阀;平衡阀
F16K17/36
由于外界情况致动,如震动,改变位置
法律状态
2018-09-07 :
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : F16K 17/36
申请日 : 20080815
授权公告日 : 20090513
2013-02-13 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130114
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101515399571
IPC(主分类) : F16K 17/36
专利号 : ZL2008201519913
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
2009-05-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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