本实用新型公开了一种薄膜样品介电性能测试台。包括测试台本体，所述测试台本体中央设有样品台，还包括探针和控制探针移动的机械臂，所述机械臂设于测试台本体上，机械臂与探针一端连接，探针另一端在样品台上。本实用新型有三个功能：机械臂可控制探针实现三维移动操作；加热棒的运用能在高温下对薄膜样品进行测试；与显微镜的组合能对尺寸极小的样品测试。