可变孔隙粒子分析仪

专利权的终止

摘要

本实用新型提供了一种可变孔隙粒子分析仪，包括入射粒子源、偏转磁场、孔隙板，其特征在于所述孔隙板为长方形板状，板面上设有至少一个方形砚孔，在孔隙板上还设有一活动挡板，沿方形孔隙板边缘的导轨在板面上滑动。通过改变滑动挡板的位置，精确调节砚孔的缝宽大小。得以实现在粒子分析中，可根据实际需求选择通过不同的带电粒子，而无需更换孔隙板的目的，选择灵活，配置简单。

基本信息

专利标题：

可变孔隙粒子分析仪

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820154251.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-10-21

授权号：

CN201282105Y

授权日：

2009-07-29

发明人：

阳厚国张进创王蒙逄锦涛

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

优先权：

CN200820154251.5

主分类号：

H01J49/26

IPC分类号：

H01J49/26

相关图片

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01J

放电管或放电灯

H01J49/00

粒子分光仪或粒子分离管

H01J49/26

质谱仪或质量分离管

法律状态

2018-11-13 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : H01J 49/26
申请日 : 20081021
授权公告日 : 20090729

2013-02-27 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101522605145
IPC(主分类) : H01J 49/26
专利号 : ZL2008201542515
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130123

2009-07-29 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

文件下载

1、

CN201282105Y.PDF

PDF下载