厚度测量仪

专利权的终止

摘要

本实用新型提供了一种厚度测量仪，它包括：基座、测量转台、测量表；基座表面安装有相对基座可转动的测量转台；测量表具有测试头、表盘及操作钮，测试头垂直于所述测量转台所在的平面。该厚度测量仪还包括支架。支架由固定杆和横杆组成，横杆通过穿孔连接块连接固定杆；测量表安装在横杆上，固定杆安装于基座。本实用新型提供的厚度测量仪是在测量转台上放置待测物品—晶圆，因此可解决传统厚度测量仪测量的晶圆尺寸受限的问题。转动测量转台及调节横杆相对固定杆的角度和位置，可快捷地实现测量转台上晶圆不同位置厚度的测量，提高测量效率。

基本信息

专利标题：

厚度测量仪

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820154302.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-10-21

授权号：

CN201293627Y

授权日：

2009-08-19

发明人：

张新军陈涛

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市张江路18号

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

屈蘅

优先权：

CN200820154302.4

主分类号：

G01B5/06

IPC分类号：

G01B5/06