化学品供应泵的泄漏检测系统

专利权的终止

摘要

本实用新型揭露了一种化学品供应泵的泄漏检测系统，包括主体、光电转换器和连接在所述主体上的光纤固定架，所述光电转换器上的光发射极连接有第一光纤，所述光电转换器上的光接收极连接有第二光纤，所述主体设有连接所述化学品供应泵的通道，所述通道内设有可在所述通道内运动的浮动体，所述第一光纤的另一端和所述第二光纤的另一端对称设置在所述光纤固定架上，所述光电转换器上还连接有一输出系统，所述输出系统为一监控器或者警示系统。利用该系统可直接快速检测出泄漏的化学品，简单方便，同时无需复杂的检测设备，降低成本，可广泛应用在各种具有防爆要求的溶剂性化学品和非溶剂性的化学品供应泵上。

基本信息

专利标题：

化学品供应泵的泄漏检测系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820154498.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-10-27

授权号：

CN201322679Y

授权日：

2009-10-07

发明人：

朱飚

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市张江路18号

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

屈蘅

优先权：

CN200820154498.7

主分类号：

G01M3/38

IPC分类号：

G01M3/38