PECVD设备上料及下料端的输送台
专利权的终止
摘要
本实用新型涉及太阳电池生产设备技术领域，尤其是一种PECVD设备上料及下料端的输送台，具有石墨框输送主动轮，输送主动轮之间设置至少一个惰轮，组成惰轮单元。这些惰轮给石墨框更多的支撑点，在增加石墨框运行的平稳性外，轮子对石墨条的摩擦也会更小，增加石墨条的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
PECVD设备上料及下料端的输送台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820160201.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-09-12
授权号 ：
CN201258359Y
授权日 ：
2009-06-17
发明人 ：
沈寅王仁杰
申请人 ：
常州天合光能有限公司
申请人地址 ：
213031江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号
代理机构 ：
常州市维益专利事务所
代理人 ：
王凌霄
优先权 ：
CN200820160201.8
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 C23C16/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2017-11-03 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : C23C 16/44
申请日 : 20080912
授权公告日 : 20090617
终止日期 : 20160912
申请日 : 20080912
授权公告日 : 20090617
终止日期 : 20160912
2009-06-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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