一种洁净室
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种洁净室,包括一洁净空间、设置在洁净空间顶部的框架、风机过滤机组和组合式净化空调器,所述框架上配合布满所述风机过滤机组,所述组合式净化空调器的出风口与风机过滤机组上方的负压空间的顶部连通,所述洁净空间外侧设有向外排风的回风通道,所述负压空间的侧壁上周向均布有至少2个通孔,各通孔内固定设有干盘管,使负压空间与回风通道通过干盘管连通;所述洁净空间内设有复数个温度传感器,其输出经控制电路连接所述干盘管的控制装置。本实用新型可实现室内温度±0.5℃的控制要求,可应用于晶圆生产厂等高科技行业中。

基本信息
专利标题 :
一种洁净室
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820161618.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-10-09
授权号 :
CN201279461Y
授权日 :
2009-07-29
发明人 :
叶荃姚育才吴卫国赵金权
申请人 :
苏州克林络姆空调系统工程有限公司
申请人地址 :
215153江苏省苏州市苏州新区通安同心路78号
代理机构 :
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 :
陶海锋
优先权 :
CN200820161618.6
主分类号 :
B01L1/04
IPC分类号 :
B01L1/04  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01L
通用化学或物理实验室设备
B01L1/00
外壳;腔室
B01L1/04
无尘房间或无尘箱
法律状态
2012-12-05 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101362527925
IPC(主分类) : B01L 1/04
专利号 : ZL2008201616186
申请日 : 20081009
授权公告日 : 20090729
终止日期 : 20111009
2009-07-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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