一种可裁剪的双面纳米带电极阵列集成传感器
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种可裁剪双面纳米带电极阵列集成传感器。选用硅片或玻璃作基底,采用MEMS技术将两种不同的电极材料沉积在基底的正反两个平面上,以光刻技术形成上下面对称的梳状工作电极和参考电极阵列,采用PECVD方法在两侧分别沉积有氮化硅绝缘层,光刻露出焊盘,在两面绝缘层上刻制与电极方向垂直的多条切割线。传感器定期裁剪抛光,多次使用延长器件寿命,提高并保持电极的一致和稳定性。传感器固定在Teflon腔体内,采用差分脉冲阳极溶出伏安法,采集被测溶液的阻抗以及氧化还原电流信号。它可在江河湖海、生物医学、工业废水废气等领域中直接对溶液中的阴阳离子浓度进行定量检测,进行表面修饰后可对生物分子进行定性检测。

基本信息
专利标题 :
一种可裁剪的双面纳米带电极阵列集成传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820163262.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-08-22
授权号 :
CN201289468Y
授权日 :
2009-08-12
发明人 :
王平李毅付静蔡巍
申请人 :
浙江大学
申请人地址 :
310027浙江省杭州市西湖区浙大路38号
代理机构 :
杭州求是专利事务所有限公司
代理人 :
林怀禹
优先权 :
CN200820163262.X
主分类号 :
G01N27/00
IPC分类号 :
G01N27/00  G01N33/48  B81C1/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
法律状态
2011-11-02 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101127310197
IPC(主分类) : G01N 27/00
专利号 : ZL200820163262X
申请日 : 20080822
授权公告日 : 20090812
终止日期 : 20100822
2009-08-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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