用机器人服务等离子体处理系统的方法

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摘要

公开了一种用于对包括对接端口的等离子体处理系统执行一组服务程序的机器人装置。该装置包括平台和连接到平台的对接探针，其中，对接探针被配置为与对接端口对接。该装置还包括连接到平台的机械手臂，和连接到机械手臂的工具，并且该机械手臂还被配置为充分执行一组服务程序。该装置还包括连接到平台的计算机，其中，该计算机还被配置为执行一组服务程序，以及其中，当对接探针对接到对接端口时，由该工具执行一组服务程序。

基本信息

专利标题：

用机器人服务等离子体处理系统的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101817179A

申请号：

CN201010143239.6

公开（公告）日：

2010-09-01

申请日：

2006-03-24

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

安德鲁三世·D·贝利

申请人：

朗姆研究公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

代理机构：

上海华晖信康知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

樊英如

优先权：

CN201010143239.6

主分类号：

B25H1/00

IPC分类号：

B25H1/00