处理气流的方法
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摘要
本发明描述了一种处理含有硅烷或其它含硅气体的气流的方法。在该方法中，该气流传送到液环泵或螺杆机构泵。同时提供用于在该泵内氧化该含硅气体的氧化剂，以及用于在该泵内形成液环或用于间歇性冲刷的液体。包含有该液体以及该含硅气体氧化副产品的液体流从该泵排出。
基本信息
专利标题 ：
处理气流的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101912763A
申请号 ：
CN201010266989.2
公开（公告）日 ：
2010-12-15
申请日 ：
2006-03-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
J·R·史密斯G·P·奈特
申请人 ：
爱德华兹有限公司
申请人地址 ：
英国西萨塞克斯郡
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
陈江雄
优先权 ：
CN201010266989.2
主分类号 ：
B01J19/20
IPC分类号 ：
B01J19/20 B01D53/46 C23C16/44 B01D53/68
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01J
化学或物理方法，例如，催化作用或胶体化学；其有关设备
B01J19/00
化学的，物理的或物理—化学的一般方法；及其有关设备
B01J19/18
具有内部移动元件的固定式反应器
B01J19/20
用螺旋形式的，例如，螺旋反应器
法律状态
2012-07-18 ：
授权
2011-02-02 ：
实质审查的生效
号牌文件类型代码 : 1604
号牌文件序号 : 101035090012
IPC(主分类) : B01J 19/20
专利申请号 : 2010102669892
申请日 : 20060313
号牌文件序号 : 101035090012
IPC(主分类) : B01J 19/20
专利申请号 : 2010102669892
申请日 : 20060313
2010-12-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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