硅粉回收方法和硅粉回收装置

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摘要

提供硅粉回收方法和硅粉回收装置，有效地回收去除了水分的硅粉。使硅吸附板(32)和硅通过限制板(33d)接触从使磨石(103d)与硅晶片(S)抵接来进行加工的加工装置(100)排出的包含硅粉(P)的废液(L)，并对它们通电而使硅粉附着于带正电的硅吸附板。接着，将硅吸附板从废液提起，从硅吸附板刮取并回收包含附着于硅吸附板的硅粉和废液的硅溶液(SF)。接着，利用干燥单元(6)使从硅吸附板刮取的硅溶液的水分干燥。

基本信息

专利标题：

硅粉回收方法和硅粉回收装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN105384173A

申请号：

CN201510542262.5

公开（公告）日：

2016-03-09

申请日：

2015-08-28

授权号：

CN105384173B

授权日：

2022-05-03

发明人：

藤田敦史吉田干内田正喜

申请人：

株式会社迪思科

申请人地址：

日本东京都

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

李辉

优先权：

CN201510542262.5

主分类号：

C01B33/037

IPC分类号：

C01B33/037