在用于在激光加工工件(2)时测量工件(2)的反射的工件表面(2a)与反射的基准面(2b)之间的间距(A)的装置(3)中，干涉仪(5)具有分束器(6)，该分束器将干涉仪光(7)分到测量臂(9)上作为测量射束(10)并且分到基准臂(11)上作为基准射束(12)，并且具有探测器(13)，该探测器探测在工件表面(2a)上被反射的测量射束(10)和在基准面(2b)处被反射的基准射束(12)，其中，测量臂(9)和基准臂(11)在干涉仪光(7)的相干长度内是等长的。根据本发明设置，测量臂(9)具有测量光纤(14)而基准臂(11)具有基准光纤(15)，测量光纤(14)和基准光纤(15)在其整个长度上或在其部分长度上，尤其是在光纤(14，15)长度不同的情况下在较短光纤的整个长度上，平行地在彼此旁延伸并且与彼此处于热接触中，测量臂(9)具有第一表面区域(2a)作为反射的工件表面而基准臂(11)具有工件(2)的第二表面区域(2b)作为反射的基准面，并且