用于隔离激光系统中的增益元件的系统和方法
授权
摘要
公开了用于保护激光产生等离子体(LPP)极紫外(EUV)光系统中的种子激光器的方法和设备。被定位在光路上的隔离级使从LPP EUV光系统中的进一步的部件反射的光转向，以免到达种子激光器。隔离级包括通过延迟线分离的两个AOM。AOM当打开时将光引导到光路上，并且当关闭时将光远离光路引导。由延迟线引入的延迟被确定为使得AOM的打开和关闭可以被定时以将前向移动的脉冲引导到光路上并且在其他时间使反射光转向。隔离级可以被定位在增益元件之间，以防止放大的反射光到达种子激光器和其他潜在的有害效应。
基本信息
专利标题 ：
用于隔离激光系统中的增益元件的系统和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN107003550A
申请号 ：
CN201580064107.5
公开（公告）日 ：
2017-08-01
申请日 ：
2015-11-06
授权号 ：
CN107003550B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
陶业争R·罗基斯基D·J·W·布朗D·J·格里斯M·卡特斯J·T·斯特瓦特
申请人 ：
ASML荷兰有限公司
申请人地址 ：
荷兰维德霍温
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
王茂华
优先权 ：
CN201580064107.5
主分类号 ：
G02F1/11
IPC分类号 ：
G02F1/11 H01S3/08 H01S3/082
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02F
用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器
G02F1/00
控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学
G02F1/01
对强度、相位、偏振或颜色的控制
G02F1/11
基于声—光元件的，例如，利用声或类似的机械波的可变衍射作用
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2017-12-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02F 1/11
申请日 : 20151106
申请日 : 20151106
2017-08-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
