有机层沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法
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摘要
公开了有机发光显示装置、用于沉积有机发光显示装置的有机层的设备，以及通过使用该设备制造有机发光显示装置的方法。用于沉积有机层的设备包括沉积部，沉积部包括与衬底间隔开的沉积组件。沉积组件包括配置为加热沉积材料的沉积源、安装在沉积源上的沉积源喷嘴单元、面对沉积源喷嘴单元的多个图案板以及布置在沉积源与多个图案板之间的源遮板。沉积源喷嘴单元包括沉积喷嘴。多个图案板包括多个第一图案化缝隙和多个第二图案化缝隙中的至少一个。源遮板配置为根据沉积源与衬底的相对位置允许沉积材料穿过多个图案板中的一个。
基本信息
专利标题 ：
有机层沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN106611817A
申请号 ：
CN201610685453.1
公开（公告）日 ：
2017-05-03
申请日 ：
2016-08-18
授权号 ：
CN106611817B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
金旻首金武谦瓦列里·普罗什金斯基金茂显李东规李丙国河在秀
申请人 ：
三星显示有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
王达佐
优先权 ：
CN201610685453.1
主分类号 ：
H01L51/00
IPC分类号 ：
H01L51/00 H01L51/56 H01L27/32
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2018-11-02 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 51/00
申请日 : 20160818
申请日 : 20160818
2017-05-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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