用于智能线内计量的方法
授权
摘要
本发明提供一种用于智能线内计量的方法。在工件上的第一组检验位点处测量所述工件的参数。使用所述第一组检验位点处的所述测量做出关于是否满足第一规格的确定。响应于满足所述第一规格，在所述工件上的第二组检验位点处估计所述参数。响应于不满足所述第一规格，在所述第二组检验位点处测量所述参数且使用所述第二组检验位点处的所述测量做出关于是否满足第二规格的确定。
基本信息
专利标题 ：
用于智能线内计量的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN106960803A
申请号 ：
CN201610870727.4
公开（公告）日 ：
2017-07-18
申请日 ：
2016-09-30
授权号 ：
CN106960803B
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
王祥保卢一斌
申请人 ：
台湾积体电路制造股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路8号中国台湾
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
路勇
优先权 ：
CN201610870727.4
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2022-04-19 ：
授权
2019-02-05 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/66
申请日 : 20160930
申请日 : 20160930
2017-07-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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