保管装置和保管方法
授权
摘要
本发明提供保管装置和保管方法。该保管装置能够将容器内的环境保持得良好，并能够省略不需要的吹扫处理。保管装置(1)具备：保管货架(11)，其保管容器(F)；吹扫装置(12)，其设置于保管货架，能够对容器实施吹扫处理；以及吹扫决定部(15)，其根据从保管货架搬出容器的搬出目的地中的至少一者，决定是否需要吹扫处理和吹扫处理的条件中的至少一者。
基本信息
专利标题 ：
保管装置和保管方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN107924857A
申请号 ：
CN201680049177.8
公开（公告）日 ：
2018-04-17
申请日 ：
2016-07-04
授权号 ：
CN107924857B
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
村田正直富永忠正
申请人 ：
村田机械株式会社
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
舒艳君
优先权 ：
CN201680049177.8
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 B65G1/14
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2022-04-05 ：
授权
2018-05-11 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/673
申请日 : 20160704
申请日 : 20160704
2018-04-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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