打印系统组件和方法
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摘要
用于打印基板的打印系统可以容纳在气体封装件中，其中，可以将在所述封装件内的环境维持为受控打印环境。受控环境可以包括：对在所述气体封装件内的气体环境的类型的控制、对在所述封装件内的颗粒物质的大小和水平的控制、对在所述封装件内的温度的控制、以及对照明的控制。各种实施例可以包括使用线性空气轴承技术的X轴和Y轴运动系统以及作为基板设备的超声波浮动台，其构造成显著降低在所述气体封装件内的过量热负荷。此外，使用线性空气轴承运动系统的X轴和Y轴运动系统以及作为基板设备的超声波浮动台是低颗粒生成装置，与过滤和循环系统结合，可以提供低颗粒打印系统环境。
基本信息
专利标题 ：
打印系统组件和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108028318A
申请号 ：
CN201680055770.3
公开（公告）日 ：
2018-05-11
申请日 ：
2016-09-20
授权号 ：
CN108028318B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
E.弗伦斯基
申请人 ：
科迪华公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
董均华
优先权 ：
CN201680055770.3
主分类号 ：
H01L51/00
IPC分类号 ：
H01L51/00 H01L51/56 H01L33/00 H01L21/67 F24F3/16 B41J2/165 B41J29/13
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2018-10-26 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 51/00
申请日 : 20160920
申请日 : 20160920
2018-05-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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