包含单元特定对齐和单元特定布线的多裸芯封装
授权
摘要

一种制作半导体装置的方法,可包括通过在单一步骤中封装第一半导体裸芯和第二半导体裸芯连同导电互连件而形成嵌入式裸芯面板。可测量在该嵌入式裸芯面板内的该第一半导体裸芯和该第二半导体裸芯的实际位置。可通过堆积互连结构互连该第一半导体裸芯和该第二半导体裸芯,该堆积互连结构互连包含与该第一半导体裸芯对齐的第一单元特定对齐部分、与该第二半导体裸芯对齐的第二单元特定对齐部分、连接该第一单元特定对齐部分和该第二单元特定对齐部分的单元特定布线、及与嵌入式裸芯面板的轮廓对齐并耦接至该单元特定布线的固定部分。

基本信息
专利标题 :
包含单元特定对齐和单元特定布线的多裸芯封装
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN108292627A
申请号 :
CN201680059697.7
公开(公告)日 :
2018-07-17
申请日 :
2016-10-12
授权号 :
CN108292627B
授权日 :
2022-06-14
发明人 :
C.毕晓普
申请人 :
德卡技术股份有限公司
申请人地址 :
美国亚利桑那州
代理机构 :
北京市柳沈律师事务所
代理人 :
邱军
优先权 :
CN201680059697.7
主分类号 :
H01L21/768
IPC分类号 :
H01L21/768  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/70
由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L21/71
限定在组H01L21/70中的器件的特殊部件的制造
H01L21/768
利用互连在器件中的分离元件间传输电流
法律状态
2022-06-14 :
授权
2021-03-19 :
著录事项变更
IPC(主分类) : H01L 21/768
变更事项 : 申请人
变更前 : 德卡技术股份有限公司
变更后 : 美国德卡科技公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国亚利桑那州
变更后 : 美国亚利桑那州
2018-08-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/768
申请日 : 20161012
2018-07-17 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332