用于元件的接收系统
授权
摘要
用于元件的接收装置设计成以受控的方式相对于接收点通过旋转驱动至少部分地沿第三轴进行旋转，和/或以受控的方式通过是找一个线性驱动至少部分地沿第一、第二或第三轴线进行推进，和/或以受控的方式对由接收装置引导的载体进行沿第一和/或第二轴线的其中之一进行推进。
基本信息
专利标题 ：
用于元件的接收系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108369917A
申请号 ：
CN201680069488.0
公开（公告）日 ：
2018-08-03
申请日 ：
2016-09-22
授权号 ：
CN108369917B
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
康斯坦丁·科赫马库斯·费斯特尔
申请人 ：
米尔鲍尔有限两合公司
申请人地址 ：
德国罗丁约瑟夫米尔鲍尔广场
代理机构 ：
北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
韩登营
优先权 ：
CN201680069488.0
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/677 H01L21/68 H05K13/04 H01L23/00 G01N21/95 H01L21/683 G01N21/88
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-10 ：
授权
2018-09-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20160922
申请日 : 20160922
2018-08-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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