氖气回收/净化系统和氖气回收/净化方法

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摘要

披露了一种氖气回收/净化系统，该氖气回收/净化系统包括：回收器皿，该回收器皿被安排在排放气体路径上并且储存排放气体，该排放气体路径从排放管线分支并延伸；将从该回收器皿送出的排放气体的压力升高至第三压力的压缩机；调节已经被该压缩机升高压力的排放气体的流量的排放气体流量调节单元；从该排放气体中去除第一杂质的第一杂质去除单元；从已经被去除了该第一杂质的排放气体中去除第二杂质的第二杂质去除单元；储存已经被该第一杂质去除单元和该第二杂质去除单元处理过的经净化气体的升压器皿；将从该升压器皿送出的经净化气体的压力减小至该第一压力的减压阀；以及调节被供应至制造系统的供应管线的经净化气体的流量的经净化气体流量调节单元。

基本信息

专利标题：

氖气回收/净化系统和氖气回收/净化方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN108367923A

申请号：

CN201680072728.2

公开（公告）日：

2018-08-03

申请日：

2016-09-13

授权号：

CN108367923B

授权日：

2022-06-07

发明人：

铃木清香小浦辉政野泽史和

申请人：

乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司

申请人地址：

法国巴黎

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司

代理人：

杨贝贝

优先权：

CN201680072728.2

主分类号：

C01B23/00

IPC分类号：

C01B23/00 F25J3/08