本发明公开了用于确定相对运动的设备和方法。在一个实施方式中，提供了一种干涉仪。所述干涉仪可包括主体、配置为将相干光投射到相对表面上的光源、配置为将相干光的反射转换成光电流的多对光检测器、以及处理器。所述处理器可以配置为检测所述光电流的变化，其中所述光电流的第一变化响应于所述主体与所述相对表面之间的相对运动而发生，代表运动信号，以及所述光电流的第二变化代表噪声信号。所述处理器也可以在所述运动信号的功率与所述噪声信号的功率之间的比率低于约10时，基于所述光电流的所述第一变化确定所述主体与所述相对表面之间的所述相对运动。