对设计布局的计算分析的性能指标进行可视化

授权

摘要

本发明提供一种方法，所述方法包括：获得规定光刻图案的布局的数据；获得所述布局的计算分析的多个性能指标，所述多个性能指标指示执行所述计算分析的相应部分的一台或更多台计算机过程的性能；使所述多个性能指标与在相应性能指标的测量期间处理的所述布局的多个部分相关联；以及基于使所述多个性能指标与在测量期间处理的所述布局的多个部分相关联的结果，产生三维或更高维显像，其中，显像维度中的至少一些维度指示所述布局的多个部分的相对位置，并且显像维度中的至少一些维度指示与相应部分相关联的性能指标。

基本信息

专利标题：

对设计布局的计算分析的性能指标进行可视化

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN109478013A

申请号：

CN201780043378.1

公开（公告）日：

2019-03-15

申请日：

2017-06-23

授权号：

CN109478013B

授权日：

2022-04-01

发明人：

N·潘迪M·C·西蒙

申请人：

ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰维德霍温

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

王静

优先权：

CN201780043378.1

主分类号：

G03F1/36

IPC分类号：

G03F1/36 G03F7/20 G06F17/50