气体测量系统
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摘要
本文中呈现用于将天然气管路中的例如H2S或H2O等痕量级及/或超痕量级的物质量化的系统及方法。所述系统及方法采用可调谐激光器，例如可调谐二极管激光器、垂直腔面发射激光器VCSEL、外部腔二极管激光器或垂直外部腔面发射激光器VECSEL或者可调谐量子级联激光器QCL。所述激光器以从约0.1Hz到约1000Hz的扫描频度产生在一组一或多个相对狭窄的高分辨率波长频带内的输出束。包括痕量级所关注物质的天然气样本通过流动池，来自所述激光器的所述输出束被引导到所述流动池中。光学检测器从所述流动池接收光，产生指示吸收衰减的信号，依据所述信号确定所述痕量物质的浓度。
基本信息
专利标题 ：
气体测量系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109477790A
申请号 ：
CN201780043623.9
公开（公告）日 ：
2019-03-15
申请日 ：
2017-07-25
授权号 ：
CN109477790B
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
P·泽梅克R·M·卡兰杰洛叶宏柯A·赖特
申请人 ：
MKS仪器公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
沈锦华
优先权 ：
CN201780043623.9
主分类号 ：
G01N21/31
IPC分类号 ：
G01N21/31 G01N21/01 G01N1/24
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/25
颜色；光谱性质，即比较材料对两个或多个不同波长或波段的光的影响
G01N21/31
测试材料在特定元素或分子的特征波长下的相对效应，例如原子吸收光谱术
法律状态
2022-06-10 ：
授权
2019-08-09 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/31
申请日 : 20170725
申请日 : 20170725
2019-03-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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