单膜式流量压力感测装置
授权
摘要
在这里我们公开了一种基于CMOS的感测装置，该感测装置包括：基板，该基板包括蚀刻部分；位于基板上的第一区，其中第一区包括形成在基板的蚀刻部分的区域上方的膜区；形成在膜区内的流量传感器；以及形成在膜区内的压力传感器。
基本信息
专利标题 ：
单膜式流量压力感测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110431386A
申请号 ：
CN201780088544.X
公开（公告）日 ：
2019-11-08
申请日 ：
2017-12-19
授权号 ：
CN110431386B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
A·德卢卡F·乌德雷亚
申请人 ：
剑桥企业有限公司
申请人地址 ：
英国剑桥
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
孙纪泉
优先权 ：
CN201780088544.X
主分类号 ：
G01F1/684
IPC分类号 ：
G01F1/684 G01F15/02 B81B7/02 G01L9/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01F
容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量
G01F1/00
测量连续通过仪表的流体或流动固体材料的流量或质量流量
G01F1/68
应用热效应
G01F1/684
结构配置；元件安装，例如与液流有关的
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2022-02-11 ：
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移IPC(主分类) : G01F 1/684
登记生效日 : 20220126
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 剑桥企业有限公司
变更后权利人 : 弗卢斯索有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 英国剑桥
变更后权利人 : 英国剑桥郡
登记生效日 : 20220126
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 剑桥企业有限公司
变更后权利人 : 弗卢斯索有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 英国剑桥
变更后权利人 : 英国剑桥郡
2020-02-04 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01F 1/684
申请日 : 20171219
申请日 : 20171219
2019-11-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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